原理

开尔文探针(Kelvin Probe)—RTK是一种基于振动电容的非接触无损气相环境金属表面电位的测量技术，用于测量材料的功函数(Work Function)或表面势(Surface Potential)。它可以用于检测气相环境中因温度、湿度、表面的化学、电学、力学、晶体、吸附、成膜等因素引起的材料表面电势的微小变化，是一种高灵敏的表面电化学分析技术，是唯一能够测定气相环境中腐蚀电极表面电位的方法。

技术参数

可更换探针直径：0.1mm、0.3mm 、0.5mm扫描探针以及2~5mm定点探头；

电位测量灵敏度：2～5mV；

电位测量速度：单点速度< 0.8sec.；100点X 100点（共计1万点）的面扫描50分钟；

移动平台重复定位精度：0.1um ~1um

移动平台分辨率：0.01μm；

平台移动速度：2.5mm/s

探针与样品表面测量距离：扫描探针：10μm～1000μm；

定点探针：50μm～3000μm；

技术特点

开尔文探针(RTK)分为振动探针模块、样品电极模块、样品环境模块、扫描移动控制模块、信号采集解析模块、机械支撑模块、测量控制软件模块、数据解析软件模块和计算机等九个组成部分。特点如下：

（1） 高速高分辨电位分布测量功能

（2） 快速变化电位分布测量功能

（3） 低噪声电位分布测量功能

（4） 智能调试功能

（5） 实时测量显示功能

（6） 电位分布数据解析功能