无机过氧酸

过氧酸（盐）主要由碳族、氮族和氧族元素的含氧酸（盐）所衍生出。但周期表中，第三至第七族的许多元素皆能生成过氧酸或过氧酸盐，包括硼、铀；碳、锗、锡、钛、锆、铪；氮、磷、砷、钒、铌、钽；硫、硒、碲、铬、钼、钨；锰等。

无机过氧酸（盐）的一些例子有：

过一硫酸（H2SO5）

过二硫酸（H2S2O8）及其盐类

过硝酸（HNO4）

过一磷酸（H3PO5）

过二磷酸（H4P2O8）

过碳酸钠

过硼酸钠

除过二硫酸外，大多数的过氧酸皆可由过氧化氢与相应的正酸（或酸酐或其盐）作用而制得。所有过氧酸或过氧酸盐用稀硫酸进行酸化时都能放出过氧化氢。

一个检验过氧酸及其盐的方法是 Riesenfeld 反应，即用碳酸氢钠把30％碘化钾溶液的 pH 值调到 7.5～8，然后加入待测试液。若试液含有过氧酸或过氧酸盐，则在条件下即将碘化钾氧化为碘单质。

有机过氧酸

有机过氧酸一般是有机酸中的 －OH 被 －OOH 替换后形成的化合物，即过氧化氢中的一个氢原子被酰基所取代后形成的化合物。最常见的有机过氧酸是过氧羧酸，通式为 R-C(O)-O-OH。它又可大致分为脂肪族有机过氧酸以及芳香族和环状有机过氧酸两类。

有机过氧酸的一些例子有：

过氧甲酸

过氧乙酸

过氧三氟乙酸

过氧丙酸