基本内容

high purity nitrogen

分子式： N2

性质： 纯度大于99.999％。无色无臭无味无毒的 惰性气体。 相对密度ds(21.1℃，空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸点-195.8℃。熔点-209.9℃。 氮气纯化方法主要有 吸附法、 变压吸附法、 膜分离法等。在 集成电路、 半导体和电真空 器件制造中用作 保护气和运 载气， 化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温 扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在 外延、 光刻、 清洗和 蒸发等 工序中，作为 置换、干燥、贮存和输送用气体。 显像管制造中要求氮气纯度为99.99％以上。在航天技术中， 液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用 高纯氦置换。