• 1.摘要
  • 2.基本信息
  • 3.内容简介

平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶

中华人民共和国工业和信息化部编著书籍

《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶(YS/T 719-2009)》由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位:利达光电股份有限公司。本标准主要起草人:李智超、杨太礼、付勇、段玉玲、张向东、赵伦。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用硅靶材。

基本信息

  • 书名

    平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶

  • 外文名

    Flat Magneting Sputtering Target-Silicon Target for Optical Coating

  • 作者

    中华人民共和国工业和信息化部

  • 出版社

    中国标准出版社

  • 出版日期

    2010年3月1日

内容简介

《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶(YS/T 719-2009)》由中国标准出版社出版。