平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶
中华人民共和国工业和信息化部编著书籍
基本信息
- 书名
平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶
- 外文名
Flat Magneting Sputtering Target-Silicon Target for Optical Coating
- 作者
中华人民共和国工业和信息化部
- 出版社
中国标准出版社
- 出版日期
2010年3月1日
平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶
Flat Magneting Sputtering Target-Silicon Target for Optical Coating
中华人民共和国工业和信息化部
中国标准出版社
2010年3月1日