内容简介

本教材是为测控技术与仪器专业的本科生设置的专业必修课《精密仪器设计》编写的教材。教材共设8章，包括概论、仪器的精度理论、仪器的总体设计、光学系统、精密机械系统、电路系统设计、控制系统、精密仪器设计实例。主要介绍精密仪器的机械、光学和电子部分主要结构、基本原理和设计方法，并结合实例从光机电一体化的设计思想突出精密仪器的特点和设计方法。1

目录

前言**章精密仪器概论**节概述第二节精密仪器的重要性和展望第三节精密仪器的设计要求和过程作业与思考题第二章仪器的精度理论**节精度理论的基本概念第二节误差的处理和评定第三节仪器的精度分析第四节仪器的精度设计作业与思考题第三章精密仪器总体设计**节总体设计的相关基础第二节总体设计内容第三节 总体设计举例作业与思考题第四章机械系统设计**节机构设计基础第二节机械传动机构设计第三节导向机构设计第四节微位移机构设计作业与思考题第五章光学系统设计**节概述 一第二节光学基本理论第三节典型光学元件及成像理论第四节典型光学系统作业与思考题 一第六章伺服系统设计**节概述第二节开环伺服控制系统设计第三节 闭环伺服控制系统设计作业与思考题?第七章 电路系统设计**节 电路系统组成与设计要求第二节 电路系统硬件设计第三节 电路系统软件设计第四节 电路系统抗干扰及可靠性设计作业与思考题第八章。精密仪器设计实例**节激光干涉测长仪设计第二节便携式近红外光谱仪器设计作业与思考题实验部分实验一测量显微镜结构分析设计实验二精密工作台控制系统设计实验三精密工作台控制计算机系统设计实验四单色仪光栅扫描计算机控制系统设计参考文献1

参考资料