基本信息

书名:微加工导论

出版社:电子工业出版社

定价:65

条形码:9787121019814

ISBN:ISBN 7-121-01981-7

作者:（芬兰）弗兰西拉著

印刷日期:2006-1-1

出版日期:2006-1-1

精装平装_开本_页数:平装16开,444页

简介

21世纪将是微电子技术及其相关产业持续发展的新世纪，本书从微加工角度出发，介绍了微加工的材料、基本工艺、结构、工艺集成、设备和制造等各个方面。其中材料部分包括了硅、薄膜材料及其制备工艺和结构，基本工艺部分包括了薄膜制备、外延、光刻、刻蚀、热氧化、扩散、离子注入、化学机械抛光（CMOS）、键合、浇铸和冲压等；结构部分包括了自对准结构、等离子体刻蚀结构、湿法刻蚀的硅结构、牺牲层结构和沉积的结构；工艺集成部分包括了互补金属氧化物半导体（CMOS）晶体管制造、双极技术、多层金属化和微机电系统（MEMS）等；设备部分包括了热工艺、真空和等离子体、化学气相沉积和外延等设备；本书还介绍了微加工技术涉及的净化室、成品率、晶圆厂、摩尔定律等。本书既介绍了微电子制造工艺技术，也涉及了微机电系统（MEMS）、微流体、微光学和纳米技术等领域。

本书将是学习微结构和微加工技术的电子工程、化学、机械、物理和材料科学等领域的一本优秀教材，可应用于微电子、微机电系统（MEMS）、光电子或相关新兴领域。

目录

第一部分 绪论

第1章 概述

1.1微加工学科分类

1.2基片

1.3材料