概念

在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀

真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。

真空蒸镀中的金属镀层通常为铝膜，但其它金属也可通过蒸发沉积。

原理

金属加热至蒸发温度。然后蒸汽从真空室转移，在低温零件上凝结。该工艺在真空中进行，金属蒸汽到达表面不会氧化。

在对树脂实施蒸镀时，为了确保金属冷却时所散发出的热量不使树脂变形，有必须对蒸镀时间进行调整。此外，熔点、沸点太高的金属或合金不适合于蒸镀。

工艺流程

1、 脱脂处理 用丙酮或酒精进行清洗

2、 表面处理（必要时） 电晕（corona）放电处理，紫外线照射处理等。

3、 底面涂布/硬化处理（必要时）

为了得到精美的蒸镀膜，有时必须进行底面涂布处理。进行底面涂布处理可以得到以下的效果：

(1)、改善树脂与蒸镀膜之间的密接性

(2)、将成型品表面的微小凹凸部分填平，以获得如镜面一样的表面

无论是为了得到反射镜作用而实施真空蒸镀，还是对密接性较低的夺钢进行真空蒸镀时，都必须进行底面涂布处理。底面涂布工艺基本与涂布工艺相似。如一般的涂料一样，可以使用喷枪进行喷涂。

4、 真空蒸镀工艺 蒸镀金属为铝、金等。

5、 表面涂布/硬化处理（必要时）

由真空蒸镀所产生的金属薄膜相当的薄，为了利用外界的化学、物理等性能，以达到保护蒸镀膜的目的，有时需要实施表面涂布处理(或过量涂布)。

设备