中国科学院微电子研究所

中国科学院微电子研究所（Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences），简称“微电子所”，北京市朝阳区北土城西路3号。微电子所成立于1958年，隶属于中国科学院，是中国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。现任党委书记是戴博伟1。

截至2022年12月官网显示，微电子所目前在职职工1千余人，其中包括中国科学院院士2人、高级专业技术人员480余人。微电子所是国务院学位委员会批准的博士、硕士学位授予权单位之一，是中国科学院大学集成电路学院主承办单位，设有集成电路科学与工程、电子科学与技术、光学工程三个一级学科。目前共有在学研究生1600余人，在站博士后44人2。

微电子所在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，设有13个研发单元，具备从原理器件、集成工艺、制造装备到核心芯片开发的全链条、体系化科技创新与关键核心技术攻关能力。

基本信息

中文名
中国科学院微电子研究所
外文名
Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences
简称
微电子所、IMECAS
成立时间
1958年
主管部门
中国科学院

历史沿革

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1958年8月，为研制国防专用109计算机，我国第一个半导体器件生产厂成立，命名为“109厂”，隶属于中国科学院物理研究所。

1960年-1965年，隶属于中国科学院半导体研究所。

1965年-1967年，隶属于中国科学院。

1967年-1975年，隶属于中国人民解放军第14研究院编制建厂（所）。

1975年-1986年，隶属于中国科学院。

1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、中国科学院计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分单位合并，成立中国科学院微电子中心，隶属于中国科学院至今。

2003年10月16日，为了集中和充足优势资源，进一步凝练和明确发展方向，拓宽应用研究领域，巩固创新成果，“中国科学院微电子中心”更名为“中国科学院微电子研究所”。

2018年10月，被评为全国中小学生研学实践教育基地。

科研条件

人员编制

截至2014年底，中国科学院微电子研究所共有在职职工1061人。其中科技人员819人、科技支撑人员203人，包括中国科学院院士1人、研究员及正高级工程技术人员72人、副研究员151人、高级工程技术人员64人。共有中国科学院“百人计划”入选者20人，国家杰出青年科学基金获得者2人。

中国科学院院士：刘明

中国科学院“百人计划”入选者（名单不全）：曹立强、陈杰、陈曙东、樊晓华、霍宗亮、贾锐、金智、梁利平、刘洪刚、刘昱、阎跃鹏、殷华湘、于大全

国家杰出青年科学基金获得者：陈杰、刘明

科研设备

为了加强技术支撑系统建设，中国科学院微电子研究所在2009年筹建并成立了了中国科学院微电子所公共技术服务中心。据2016年1月研究所官网显示，该研究所共开放各类大型设备共计104台，价值共计89064026.58元。

部分仪器概览

序号	所属实验室	仪器名称	仪器型号
1	一室	静态参数功率器件测试系统	TESEC 3620-TT
2	一室	动态参数测试系统	TESEC 3430-SW
3	一室	热阻测试系统	TESEC 9424-KT
4	三室	电子束光刻系统	JEOL JBX- 6300FS
5	三室	Pattern Generator图形发生器	GCA 3600F