籽晶
籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体,是生长单晶的种子,也叫晶种。用不同晶向的籽晶做晶种,会获得不同晶向的单晶。
基本信息
- 中文名
籽晶
- 外文名
Seed crystal
分类
按用途分
按用途分,有CZ直拉单晶籽晶、区熔籽晶、蓝宝石籽晶、SiC籽晶。
CZ直拉
在直拉单晶中,需要一定晶向的晶种作为直拉单晶引晶,晶向主要有[100]、[110]、[111]三种。半导体三种晶向都有,太阳能主要用[100]晶向的籽晶。
2区熔籽晶
区熔籽晶的型号有N型和P型,是籽晶中纯度和电阻率要求最高的,电阻率至少要求在300Ω.cm以上,少子寿命值一般都在几百甚至几千微秒以上,晶向类型分<111>和<110>两种,该类籽晶一般呈方形长条状。
蓝宝石籽晶
蓝宝石具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性等特点,广泛应用在医疗、环保、化工、高真空测试、LED等等领域。然而,蓝宝石的制备及其品质一直是应用关注的核心问题,制备好品质的蓝宝石最关键要素之一就是晶种的选择。晶种的类型、表面性质和吸附变化极大地影响着蓝宝石晶体的生长类型、缺陷结构以及电学性质等等。做为蓝宝石长晶用的一种晶棒,如下图:
SiC籽晶
作为SiC长晶用的一种晶种,其形状主要以薄片状为主,如下图
按形状分
按形状分主要有片状籽晶、方籽晶、圆籽晶、锥籽晶、半锥籽晶。
片状籽晶
该类籽晶主要是SiC籽晶。