产品概述

高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。研究比较多的高温压力传感器主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半导体传感器，还有溅射合金薄膜高温压力传感器、高温光纤压力传感器和高温电容式压力传感器等。半导体电容式压力传感器相比压阻式压力传感器其灵敏度高、温度稳定性好、功耗小，且只对压力敏感，对应力不敏感，因此，电容式压力传感器在许多领域得到广泛应用。

高温压力传感器由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术，在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起，形成具有一定稳定性的硅膜片电容压力传感器。1

工作原理

高温压力传感器的工作原理风压传感器的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。

相关参数

量 程： -0.1～0～1～150(MPa) 综合精度：0.25%FS、0.5%FS

输出信号： 4～20mA(二线制)、0～5V、1～5V、0～10V(三线制)

供电电压： 24DCV(9～36DCV)

介质温度： -20～800℃

环境温度： 常温(-20～85℃)

零点温漂移： ≤±0.05%FS℃

量程温度漂移： ≤±0.05%FS℃

补偿温度： 0~70℃

安全过载： 150%FS

极限过载： 200%FS

响应时间： 5 mS(上升到90%FS)

负载电阻： 电流输出型：最大800Ω；电压输出型：大于5KΩ

绝缘电阻： 大于2000MΩ (100VDC)