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出版时间：2011-03-01版　次：1页　数：307装　帧：平装开　本：大32开所属分类：图书>科学与自然>物理学

内容简介

《电阻率测试理论与实践》以电阻率测量中广泛使用的探针技术为对象，对电阻率测试中许多理论问题作了深入讨论，如静电场有限元理论、图形变换理论、镜像源理论、互易定理及其证明，为创造新的测试法打下坚实基础和空间。

目录

1 绪论

1.1 电阻率测试对半导体材料与器件的重要性

1.2 电阻率测试对工业领域的重要性

1.3 电阻率测试对地质物探领域的重要性

1.4 电阻率测试对医学领域的重要性

1.4.1 中风的检测与监护

1.4.2 肺梗塞的诊断

1.4.3 乳腺肿瘤的诊断

1.4.4 其他应用

2 四探针法电阻率测量基本原理

2.1 电阻率测量的实质问题——反演问题

2.2 四探针技术在半导体测量领域中的应用

2.2.1 作为最为广泛的工艺监测手段之

2.2.2 测试抛光的硅单晶和硅片的少子寿命