内容简介

它与已出版的《电子束曝光微纳加工技术》一书相辅相成，重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。全书分为九章。第一章 讲述精密工件台的组成、发展现状和主要技术指标。第二章 至第五章 系统介绍精密测量技术、驱动技术、直线导向技术的工作原理、技术特点和选用准则。第六章 通过实例阐明微位移技术的原理及结构特点。第七章 和第八章 讲述精密工件台的控制系统、精度分析及精度补偿方法。第九章 主要介绍精密工件台在微电子产业、精密测量、生物芯片技术、纳米表面形貌测量和纳米加工设备中的具体应用和发展前景。

在当前微纳加工技术迅猛发展和相关专著及技术图书十分匮乏的情况下，《微纳加工中的精密工件台技术》的出版对促进我国微纳加工技术的研发工作必将起到积极的作用。1

目录

第一章 绪论

第一节 精密工件台

一、工件台的定义和分类

二、精密工件台的组成和分类

三、精密工件台的用途

第二节 精密工件台技术的发展

一、精密工件台技术的发展概况

二、当前工件台达到的最高性能指标

三、国内的发展状况

第三节 本书的内容和目的

第二章 精密测量技术

第一节 概述

第二节 光栅测量技术

一、光栅位移检测原理

二、高分辨率的实现