1966年9月毕业于北京大学物理系半导体专业；1968年7月中国科学院半导体研究所工作； 1985年9月中国科学院微电子研究所工作；兼职中国科学院研究生院教授，中国电子学会高级会员，北京半导体专业委员会委员、制版分会主任，全国半导体设备与材料标准化技术委员会副主任委员、微光刻分委会主任委员，全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术工作组副秘书长，光学微细加工国家重点实验室学术委员会副主任委员。