论文作品

1) Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan. A triple-layer protection process for high-aspect-ratio silicon micronachining by DRIE OF SOI substrates. J. Micromech. Microeng. 2012, 22 055028 (SCI).

2) Zhibo Ma, Sen Ren, Dayong Qiao, Weizheng Yuan，Fabrication of a Novel Resonant Pressure Sensor Based on SOI Wafer. 2nd Integration & Commercialization of Micro & Nanosystems International Conference & Exhibition. Clear Water Bay, Kowloon, Hong Kong, June 3-5, 2008.

3)马志波,姜澄宇,任森,苑伟政.基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作. 2012, 25(2), 180-183.

4)马志波,乔大勇,虞益挺,苑伟政,姜澄宇，一种新型CCD图像采集系统设计.传感技术学报, 2006, 19(4): 1250-1252.

5)马志波,乔大勇,苑伟政,姜澄宇，MEMS微结构粘附问题研究.航空精密制造技术. 2006, 42(6): 9-11.

专利产品

1)高占空比自支撑纳米透射光栅及其制作方法马志波，姜澄宇，苑伟政。

2)一种纳米结构的图形转移制作方法马志波，姜澄宇，苑伟政。

3)一种高悬浮空间MEMS可动器件的制作方法。苑伟政，马志波，乔大勇，任森，吕湘连。

4)微型纵向驱动器苑伟政，乔大勇，马志波，吕湘连。

5)一种微型平板静电驱动器及其制作方法苑伟政，乔大勇，虞益挺，马志波。