理化性质

三氟化氯

三氟化氯分子式为ClF3，分子量为92.45，无色气体或绿色液体，沸点为11.3℃，熔点为-76.3℃，相对密度为3.14（空气=1）。有毒，有强腐蚀性。1

拉夫（Ruff）和克鲁格（Krug）在1930年制成氟化氯并报告发现了这种物质。这个反应也生成一氟化氯，可以通过蒸馏使其分离。

3 F2+ Cl2→ 2 ClF3

ClF3形状大致是T形, 有一个短键（1.598Å）和两个长键（1.698Å），孤对电子占据两个赤道位置，与共价键一起形成一个三角双锥，这种结构与价层电子对互斥理论的预测一致，较长的Cl-F键与超价键一致。

纯净的ClF3在180℃以下的玻璃容器中是稳定的，一旦超过这个温度就会通过自由基反应分解。

稳定性：是已知最活泼的化合物之一。立即侵蚀玻璃，有湿气时也腐蚀石英，与水剧烈反应而爆炸，与有机物反应有火光发生。

用途

（1）ClF3主要用来生产六氟化铀（UF6），以及核燃料加工和后期处理，主要反应方程式：

U + 3 ClF3→ UF6+ 3 ClF

（2）在半导体工业中，三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点。与其它代替的清洁剂不同，三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化，因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。

合成方法

制备原理：Cl2+3F2=2ClF3

装置与制ClF相同，可以不用液态氧冷却的阱，反应炉加热到230℃。氯气流缓慢一些，如果F2对于Cl2比例太小则主要形成ClF，且ClF3中含有较多的Cl2。

氟化完毕后，把用干冰冷却的气阱中凝集的液态ClF3倾入一个用干冰冷却的钢瓶中并立刻关紧。当钢瓶温度升至室温时，连上压力计打开阀门，使气体放出直至0.122MPa为止。此时ClF、Cl2、F2均挥发逸出。收率随Cl2∶F2的值而定，一般可达60%～85%。2

危害

ClF3是一种很强氧化剂和氟化剂。它能大多数有机和无机材料甚至塑料反应，可以使许多材料不接触火源就燃烧。这些反应通常很剧烈，在某些情况下甚至会爆炸。它与一些金属反应生成氯化物和氟化物，与磷反应生成三氯化磷和五氟化磷，而与硫反应生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3也与水剧烈反应，水解产生有毒物质，例如氟化氢。H2S在室温下与ClF3混合就会爆炸。

能够超越氧气的氧化能力导致对含氧材料的腐蚀性，这些材料通常被认为不可燃的。在一工业意外中，900 kg的ClF3泄漏把自身烧通30厘米的混凝土和90厘米的砾石。任何和三氟化氯接触的设备，必须仔细挑选和清洁，因为任何污染可以点燃接触物。