研究历史

纳米材料研究始于60年代，日本Kimoto、Wad等人在低压惰性气体的气氛中，制备了几乎所有常用金属的超细微晶。

80年代中期，已有研究人员将超细微粉的制备及成型结合起来，在不受污染的情况下，将超细粉体原位压制成固体材料，开展了对超细材料的微观结构、性能的研究，使纳米材料越来越受到人们的重视，从而逐渐发展成为材料科学与工程研究的热点。纳米材料具有量子尺寸效应、表面效应、宏观量子隧道效应，库仑阻塞效应，介电限域效应等物理效应。

自1963年日本上田良二教授首创气体冷凝法制备超微金属纳米粒子以来，世界上对金属纳米粉体的研究蓬勃开展，并取得了很大的进展，例如用于电子器件中导电涂层的银纳米粒子在100℃下即可烧结，使电路基板的材料从陶瓷转变为树脂、塑料等。再如用银纳米粒子制作的超低温稀释致冷机的热交换壁、Fe-Ni纳米粒子制作的高密度金属磁带，都已进入实用阶段，它们的年需量可达吨级以上。金属纳米粒子及其复合材料已在冶金、机械、化工、电子、国防、核技术、航空航天等研究领域呈现出极其重要的应用价值。中国已在金属纳米粉体材料产业化方面具备一定的技术基础，产品质量几乎都达到国际水平。

制备方法

本发明提供一种纳米金属粉体的制造方法，其利用微影制程技术，形成纳米图案光罩，并蚀刻金属薄膜，以形成与该光罩纳米图案对应的纳米图案，从而获得纳米金属粉体。本发明所提供的纳米金属粉体的制造方法利用可形成纳米图案的微影制程技术，因而能获得尺寸均一可控且分散性好的纳米金属粉体，适合于制造铜、铝、镍等金属粉体。