基本内容

攻读博士期间主要从事压电式微纳机电系统技术研究，是国家自然科学基金重点基金“适用于SOC的声、热、力传感器系统”，国家自然科学基金项目“甲醛气体传感器研制及特性研究”的主要参与人。发表压电微传感器/执行器、半导体制程工艺方面论文8篇（SCI/EI收录5篇）。在从事半导体制程中的湿制程工艺、氧化扩散、光刻、溅射及刻蚀方面，压电薄膜制备及其微纳传感器/执行器设计制备方面，已经具有超过5年的研究经验。目前就职于苏州纳米所纳米加工平台，主要从事大功率LED散热技术、压电微纳米光机电系统的研究。