结构参数

光谱分析仪

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目的：·对已应用成熟的用户来说，可日常化进行计量方面有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测。 B.芯片之含氧、含碳量预测。 C.磊晶之厚度量测。·

更高级的应用方面有： A.氮化硅中氢含量预测。 B.复晶硅中含氧量预测。 C.光阻特性分析。FTIR为一极便利之分析仪器，标准的建立为整个量测之重点，由于其中多利用光学原理、芯片状况（i.e.晶背处理状况）对量测结果影响。

目前所有的红外光谱仪都是傅里叶变换型的，光谱仪主要由光源（硅碳棒、高压汞灯）、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成。而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪，把样品放在检测器前，由于样品对某些频率的红外光产生吸收，使检测器接受到的干涉光强度发生变化，从而得到各种不同样品的干涉图。这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线，借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图。这一过程可由计算机完成。

用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤：

1)、分别收集背景（无样品时）的干涉图及样品的干涉图;

2)、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光；

3)、将样品的单光束光谱除以背景的单光束光谱，得到样品的透射光谱或吸收光谱。

受抑全内反射

全内反射：当光从光密媒质进入光疏媒质且入射角大于临界角时，在两媒质交界处将发生光的全内反射。

如果将疏媒质的厚度控制到非常薄，例如使两块直角棱镜的底面靠得很近，那么，即便在全反射角度的情况下，透射光依然是可以取出的，亦即全反射受到抑制。

人们已经做过大量的实验来研究受抑全反射现象，早在 1897年 J. C. Bose就通过实验证实这一现象的存在。

1902年，霍尔从实验和理论两方面解释说明了这一现象，研究了在不同材料中光的穿透距离和入射角、偏振方向的关系。同时，他还对透射系数进行了理论计算。

受抑全反射现象具有广泛的应用价值。它的发现推动了光谱学的发展，开辟了一门新的学科——表面非线性光学。

最近几年，人们利用受抑全内反射 FTIR技术制作出了多点输入触摸屏。

FTIR效应的发生要求空气薄膜厚度必须在波长范围内。受抑全反射的透射率随空气薄膜厚度的增加而减小，当随着空气薄膜厚度从0增加到一个波长数量级左右时，透射率从 100%几乎下降到 0；在薄膜厚度一定的情况下，增大入射角或选用大折射率的材料，都会使透射率减小。而入射光如果采用可见光，由于可见光波长比较小，在实验中只能观察到呈指数衰减部分的变化。

功能用途