超精密气浮定位工作台技：气浮系统动力学与控制
陈学东著书籍
本书的主要内容包括：超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法；超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析；超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。
内容
第一章
0 绪论
0.1 超精密气浮定位工作台简介
0.2 超精密定位工作台的发展概况0.2.1 超精密定位工作台的发展过程
0.2.2 国外超精密定位工作台技术的现状
0.2.3 国内超精密定位工作台技术的现状
0.3 超精密定位工作台的关键技术
0.3.1 定位工作台的直线导向技术
0.3.2 定位工作台的控制技术
0.3.3 定位工作台的驱动技术
0.3.4 定位工作台的测量技术
0.3.5 定位工作台的材料
0.4 本书的研究目的和主要内容
0.4.1 本书的研究目的
0.4.2 本书的主要内容
1 永磁同步直线电动机的基本原理及其控制
1.1 永磁同步直线电动机的结构和工作原理
1.1.1 基本结构