《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法(GB/T 4058-2009)》代替GB／T 4058—1995《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》。《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法(GB/T 4058-2009)》与GB／T 4058—1995相比，主要有如下变化：1.范围中增加了硅单晶氧化诱生缺陷的检验；2.增加了引用标准；3.增加了“术语和定义”章；4.将原标准中“表1 四种常用化学抛光液配方”删除，在第5章中对化学抛光液配比进行了修改，删除了乙酸配方；增加了铬酸溶液A的配制、Sirtl腐蚀液及Wright腐蚀液的配制；增加了几种国际上常用的无铬、含铬腐蚀溶液的配方、应用及适用性的分类对比表；5.采用氧化程序替代原标准中的氧化的操作步骤；增加了（111）面缺陷的显示方法及Wright腐蚀液的腐蚀时间，将（111）面和（100）面缺陷显示方法区分开了；（100）面缺陷的显示增加了Wright腐蚀液腐蚀方法；6.在缺陷观测的测点选取中增加了“米”字型测量方法。