内容提要

微传感器和 MEMS（ 微电子机械系统）正在使半导体工业领域发生一场新的变革。微系统也称为”芯片系统”，将 微电子电路和微传感器及微 执行器组合起来。这一新兴领域已经显示出它们在应用中未来发展的广阔前景，应用范围从 电子鼻和智能耳到微型镊子及打印机喷墨头。

本书全面地介绍了微传感器的制作工艺，是一部论述微传感器、MEMS和智能器件成功应用的重要专著。

内容包括：

传统和新型制作工艺介绍．包括硅的体微机械加工、微立体光刻和聚合物加工工艺。

重点介绍 IDT（叉指式 换能器）微传感器在开发低能耗、无线MEMS或微机械中的应用。

本书涵盖了智能器件的最新应用，包括电子鼻、舌、手指，以及 智能传感器和智能结构．如 智能皮肤。

通过传感器阵列、传感器信号的参数补偿和 专用集成电路技术的应用，对智能敏感器件的发展做了概述。

综合附录介绍了MEMS的材料主要特性、相关网址和本领域中重要的研究机构。

编辑推荐

本书有助于读者增进对微系统的理解。其适宜读者群为研究生、微电子专业的研究人员、微传感器 系统工程师和开发人员。书中对材料特性的详细介绍，对 机械工程师、物理和材料专业工作者具有重要的参考和实用价值。

作者简介

朱利安 W． 加德纳（Julian W．Gardner），英国 考文垂市 沃里克大学 电子工程教授。1979年获 伯明翰大学 理学学士学位。1983年获 剑桥大学 物理电子学 哲学博士学位。1997年获沃里克大学电子工程理学 博士学位。他在传感器工程领域具有15年以上的经历，首先在工业界，然后在学术界专门从事微传感器的开发，并与 南安普敦大学合作开发电子鼻仪表。Gardner 教授目前是英国 电气工程师学会会员和学会下属的传感器专业网成员。他撰写了250篇技术文章和5本书籍，编写了教科书《微传感器：原理与应用》，1994年由 Wiley 出版社出版，获得一定的成功，目前已第四次重印。

目录

1引言

1.1 微电子学的发展史

1.2　微传感器的进展

1.3 微电子机械系统的进展

1.4　微机械的出现