图书信息

书 名: 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

作　者：张 王晓浩 唐飞 王文弢 

出版社： 科学出版社

出版时间： 2010年03月

ISBN: 9787030268624

开本： 16开

定价: 35.00 元

内容简介

碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作，作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者，他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。

《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读，也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。

图书目录

译者序

前言

第1章 SiCMEMS概述

1.简介

2.SiC材料性能

3.制作微机电(MEM)器件

4.表面改性